[发明专利]光微通道板的制备方法、制作设备及产品在审
| 申请号： | 201811566488.9 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109407472A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 李守军;徐伟 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/26;G03F1/76;G03F1/68 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 毕翔宇 |
| 地址： | 215634 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光微通道板的制备方法、制作设备及产品，涉及光学元件技术领域，为解决用于制备微通道板的传统方法存在生产效率低、能耗大且成本高的技术问题。该光微通道板的制备方法包括以下步骤：(a)提供具有目标图案的掩膜版；(b)提供基板；(c)将掩膜版置于基板的上方，且使固化光源位于掩膜版的上方，并对感光材料层进行曝光；(d)清洗上述步骤(c)中的进行曝光后的感光材料层。本发明具有生产效率高、能耗小且成本低等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 微通道板 制备 掩膜版 感光材料层 生产效率 制作设备 基板 能耗 光学元件 目标图案 曝光 固化 光源 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种光微通道板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(a)提供具有目标图案的掩膜版；(b)提供基板，并在所述基板的表面涂覆感光材料，形成感光材料层；(c)将所述掩膜版置于所述基板的上方，且使固化光源位于所述掩膜版的上方，并对所述感光材料层进行曝光；(d)清洗上述步骤(c)中的进行曝光后的所述感光材料层，得到具有多个孔洞的第一光微通道板。
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