[发明专利]一种高频超导腔用超高真空热处理炉在审
申请号: | 201811567150.5 | 申请日: | 2018-12-19 |
公开(公告)号: | CN109594057A | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 郑承业 | 申请(专利权)人: | 深圳四维高科技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/58 | 分类号: | C23C14/58;C23C14/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种高频超导腔用超高真空热处理炉,包括机架,以及安装于机架上的离子泵,离子泵包括离子泵外壳,外壳内部具有一个加热内胆,加热内胆与外壳之间形成一个外真空腔室,加热内胆内部形成一个内真空腔室,外壳的顶部设置一个工件输送管,工件输送管与内真空腔室相通,工件自工件输送管输送至内真空腔室中,所述外真空腔室内安装有加热器以及热屏蔽层,所述热屏蔽层环绕着外真空腔室内壁一圈设置,加热器对加热内胆进行加热。本发明为双真空热处理装置,将加热器,热屏蔽等布置在炉腔外,从而使炉内除了炉壳的金属材料外,无其它物质,为超高真空和无污染源的环境提供了实现的可能性。 | ||
搜索关键词: | 加热内胆 真空腔室 加热器 超高真空 工件输送 离子泵 热处理炉 热屏蔽层 超导腔 真空腔 热处理装置 金属材料 顶部设置 环境提供 室内安装 外壳内部 热屏蔽 室内壁 双真空 炉壳 炉内 炉腔 加热 污染源 环绕 相通 | ||
【主权项】:
1.一种高频超导腔用超高真空热处理炉,其特征在于:包括机架,以及安装于机架上的离子泵,离子泵包括离子泵外壳,外壳内部具有一个加热内胆,加热内胆与外壳之间形成一个外真空腔室,加热内胆内部形成一个内真空腔室,外壳的顶部设置一个工件输送管,工件输送管与内真空腔室相通,工件自工件输送管输送至内真空腔室中,所述外真空腔室内安装有加热器以及热屏蔽层,所述热屏蔽层环绕着外真空腔室内壁一圈设置,加热器对加热内胆进行加热。
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