[发明专利]激光键合方法和具有激光键合连接部的微机械设备在审
| 申请号： | 201811567334.1 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109987567A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | J·赖因穆特;M·兰巴赫 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81B7/02;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种微机械设备，具有带着MEMS键合框的MEMS构件和带着罩键合框的罩构件，其中，MEMS构件和罩构件形成至少一个共同的空腔，其中，MEMS键合框和罩键合框在键合面上彼此贴靠。本发明的核心在于，MEMS键合框和/或罩键合框具有呈至少一个凹槽的形式的键合框结构化部并且两个键合框借助于由键合框的材料和/或罩键合框的材料形成的熔化部相互连接，其中，凹槽至少部分地填充以熔化部。本发明也涉及一种微机械构件，具有带着键合面的键合框，其中，键合框具有呈至少一个凹槽的形式的键合框结构化部，该键合框结构化部延伸至键合面。本发明也涉及一种用于借助激光键合制造微机械设备的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 键合 微机械设备 激光键合 框结构 熔化 罩构件 微机械构件 材料形成 键合面 空腔 贴靠 填充 延伸 制造 | ||
【主权项】：
1.微机械设备，具有带着MEMS键合框(120)的MEMS构件(100)和带着罩键合框(220)的罩构件(200)，其中，所述MEMS构件(100)和所述罩构件(200)形成至少一个共同的空腔(110、210)，其中，所述MEMS键合框(120)和所述罩键合框(220)在键合面(310)上彼此贴靠，其特征在于，所述MEMS键合框(120)和/或所述罩键合框(220)具有呈至少一个凹槽的形式的键合框结构化部(350)，并且，两个键合框(120、220)借助于由所述键合框(120)的材料和/或所述罩键合框(220)的材料形成的熔化部(330)相互连接，其中，所述凹槽至少部分地被所述熔化部(330)填充。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811567334.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
