[发明专利]一种环形器保护系统及控制方法

摘要

一种环形器保护系统及控制方法，其中，环形器保护系统，包括：温度测量装置、反射微波功率测量装置、微波电源供电装置和控制中心；温度测量装置用于测量合成设备腔体内工作平台的温度并反馈给控制中心；反射微波功率测量装置用于测量反射微波功率并反馈给控制中心；控制中心用于接收反馈信号并向各器件发送控制信号或控制指令；微波电源供电装置用于在设备反应腔体中微波负载匹配判定为异常时，降低微波电源的输出功率或切断微波电源供电。本发明通过实时测量设备腔体内工作台温度和微波反射功率，发现腔体内微波匹配异常情况，并通过降低微波发生功率或直接关闭微波电源降低通过环形器的反射微波的功率，保护环形器安全使用，提高系统安全性。

主权项

1.一种环形器保护系统，其特征在于，包括：温度测量装置、反射微波功率测量装置、微波电源供电装置和控制中心；所述温度测量装置用于测量MPCVD合成设备腔体内部工作平台的温度并将温度转换成信号反馈给控制中心；所述反射微波功率测量装置用于测量反射微波功率并将其转换成信号反馈给控制中心；所述控制中心包括控制计算机和信号接收处理模块；所述控制中心与温度测量装置以及反射微波功率测量装置分别相连，用于接收温度测量装置和反射微波功率测量装置的反馈信号，反馈信号经信号接收处理模块处理后，由控制计算机向各器件发送控制信号或控制指令；所述微波电源供电装置与控制中心连接，用于在MPCVD的反应腔体中微波负载匹配判定为异常时，降低微波电源的输出功率或者切断微波电源供电。