[发明专利]一种制备FIB三维重构用“鼻尖”试样的方法有效
| 申请号： | 201811568193.5 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN109540947B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 袁紫樱;关舒月;冯荣;程永建;陈晓华 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | G01N23/2202 | 分类号： | G01N23/2202 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种制备FIB三维重构用“鼻尖”试样的方法，综合应用切割技术、电化学抛光、砂纸打磨的手段，其工艺特征为：普通金相制样；在光学显微镜或扫描电镜下标记样品待测区域；使用切割技术粗加工，使得样品呈“L”形或条形，待测区域位于样品前端，初步形成“鼻尖”，“鼻尖”宽度为1mm以下；用高目砂纸打磨“鼻尖”两侧，或借助电化学抛光腐蚀样品前端，使得“鼻尖”宽度进一步缩减至100μm以下；用FIB系统精修“鼻尖”达到指定尺寸。本发明的优点为在所得样品与利用FIB传统挖坑技术制样品质一致的条件下大大降低制样成本，有力促进FIB在三维表征分析方面的推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 fib 三维 重构用 鼻尖 试样 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备FIB三维重构用“鼻尖”试样的方法，其特征在于工艺步骤为：(1)普通金相制样；(2)在光学显微镜或扫描电镜下标记样品待测区域；(3)使用切割技术粗加工，使得样品呈“L”形或条形，待测区域位于样品前端，初步形成“鼻尖”，“鼻尖”宽度为1mm以下；(4)用高目砂纸打磨“鼻尖”两侧，或借助电化学抛光腐蚀样品前端，缩减“鼻尖”宽度到100μm以下；(5)用FIB系统精修“鼻尖”达到指定尺寸。
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