[发明专利]一种聚氧乙烯醚咪唑啉磺酸盐缓蚀剂及其制备方法有效
申请号: | 201811568716.6 | 申请日: | 2018-12-21 |
公开(公告)号: | CN109371401B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 李俊莉;张颖;程雯;任海晶;李移乐;王晓晖;李霁阳 | 申请(专利权)人: | 陕西省石油化工研究设计院 |
主分类号: | C07D247/02 | 分类号: | C07D247/02 |
代理公司: | 西安永生专利代理有限责任公司 61201 | 代理人: | 高雪霞 |
地址: | 710054*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: |
本发明公开了一种聚氧乙烯醚咪唑啉磺酸盐缓蚀剂及其制备方法,该缓蚀剂的结构式为 |
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搜索关键词: | 一种 乙烯 咪唑 啉磺酸盐缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种聚氧乙烯醚咪唑啉磺酸盐缓蚀剂,其特征在于该缓蚀剂的结构式如下所示:
式中R代表碳链数为C11~C17的饱和烷基、碳链数为C11~C17的单烯基、碳链数为C11~C17的双烯基中任意一种,n为5~15的整数。
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