[发明专利]振动波微纳电容传感器及流体管道振动波监测阵列系统有效
| 申请号： | 201811568740.X | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN109555980B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 段智勇;邵倩倩;李韦烨;杨琳;李梦珂;马刘红;钟英辉;苏宇锋;郑国恒 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | F17D5/06 | 分类号： | F17D5/06;G01H11/06 |
| 代理公司： | 41104 郑州联科专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘建芳 |
| 地址： | 450001 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种振动波微纳电容传感器，包括外壳，外壳包括上半壳和下半壳，上半壳和下半壳之间固定设置有隔离薄膜；隔离薄膜与上半壳构成第一腔室，所述的隔离薄膜与下半壳构成第二腔室，所述的第一腔室和第二腔室体积相等；隔离薄膜的上壁镀有第一金属膜，上半壳的内壁镀有上金属膜，第一腔室中充有第一气体作为电介质，构成第一电容；隔离薄膜的下壁镀有第二金属膜，下半壳的内壁镀有下金属膜，第二腔室中充有第二气体作为电介质，构成第二电容。本发明提供一种振动波微纳电容传感器，能够灵敏的反映流体管道振动波特性，并提供一种流体管道振动波监测阵列系统，利用监测阵列全面监测流体管道的振动波，反映流体管道中的奇点。 | ||
| 搜索关键词： | 振动波 隔离薄膜 流体管道 金属膜 上半壳 下半壳 电容传感器 第二腔室 第一腔室 监测阵列 电介质 电容 内壁 振动波特性 固定设置 全面监测 奇点 上壁 下壁 相等 灵敏 | ||
【主权项】：
1.振动波微纳电容传感器，其特征在于：包括外壳，所述的外壳包括上半壳和下半壳，所述的上半壳和下半壳之间固定设置有隔离薄膜；所述的隔离薄膜与上半壳构成第一腔室，所述的隔离薄膜与下半壳构成第二腔室，所述的第一腔室和第二腔室体积相等；/n所述的隔离薄膜的上壁镀有第一金属膜，所述上半壳的内壁对应第一金属膜镀有上金属膜，所述的第一腔室中充有第一气体作为电介质，从而构成第一电容，第一金属膜和上金属膜作为第一电容的两个极板；/n所述隔离薄膜的下壁镀有第二金属膜，所述下半壳的内壁对应第二金属膜镀有下金属膜，所述的第二腔室中充有第二气体作为电介质，从而构成第二电容，第二金属膜和下金属膜作为第二电容的两个极板；/n所述第一电容的两个极板引出第一组接线端子；所述第二电容的两个极板引出第二组接线端子。/n
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