[发明专利]一种激光光斑尺寸的测算方法在审
| 申请号： | 201811569283.6 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109443215A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 王岳亮;李福海;马文有;陈兴驰;刘敏;赵国瑞;董东东 | 申请（专利权）人： | 广东省新材料研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 宋南 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种激光光斑尺寸的测算方法，属于光学测量技术领域。该方法包括：用激光束辐照置于待测靶面位置的探测材料的表面得到第一烧蚀斑。改变辐照激光能量并于探测材料的表面获得除第一烧蚀斑以外的多个烧蚀斑以获得激光烧蚀斑尺寸与辐照激光能量之间的对应关系。基于探测材料表面的烧蚀斑尺寸与辐照激光能量的理论关系式 |
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| 搜索关键词： | 激光光斑 烧蚀 辐照激光 探测材料 测量 光学测量技术 测算 激光束辐照 理论关系式 靶面位置 测定条件 激光烧蚀 拟合曲线 透镜聚焦 靶面 短焦 拟合 | ||
【主权项】：
1.一种激光光斑尺寸的测算方法，其特征在于，包括以下步骤：用激光束辐照置于待测靶面位置的探测材料的表面得到第一烧蚀斑；改变辐照激光能量并于所述探测材料的表面获得除所述第一烧蚀斑以外的多个烧蚀斑以获得激光烧蚀斑尺寸与辐照激光能量之间的对应关系；基于所述探测材料表面的烧蚀斑尺寸与辐照激光能量的理论关系式![]()
对所得的对应关系进行拟合，拟合曲线方程中代表ω的数据即为待测的激光光斑尺寸。
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