[发明专利]研磨用组合物、研磨用组合物的制造方法，以及研磨用组合物原液的制造方法在审
| 申请号： | 201811570718.9 | 申请日： | 2013-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN109943236A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 土屋公亮;浅田真希 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及研磨用组合物、研磨用组合物的制造方法，以及研磨用组合物原液的制造方法，所述研磨用组合物含有二氧化硅、水溶性高分子以及水。包含至少一部分水溶性高分子的吸附物吸附在二氧化硅上。吸附物的碳换算浓度为4质量ppm以上。吸附物的碳换算浓度相对于研磨用组合物中的总碳浓度的百分率为15％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨用组合物 吸附物 水溶性高分子 二氧化硅 制造 换算 原液 吸附 总碳 | ||
【主权项】：
1.一种研磨用组合物，其特征在于，其为含有二氧化硅、水溶性高分子以及水的研磨用组合物，包含至少一部分所述水溶性高分子的吸附物吸附在所述二氧化硅上，研磨用组合物中的所述吸附物的碳换算浓度为4质量ppm以上，且所述吸附物的碳换算浓度相对于研磨用组合物中的总碳浓度的百分率为15％以上。
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