[发明专利]一种镀膜装置和镀膜方法在审
| 申请号： | 201811572735.6 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN109576646A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 赵树利 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 朱静谦 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池领域，具体涉及一种镀膜装置和镀膜方法。本发明提供的镀膜装置，包括镀膜腔室和基板，所述镀膜腔室包括：至少两个加热区；所述基板依序通过所述至少两个加热区；其中，至少一个加热区为高温加热区，至少一个加热区为低温加热区；所述高温加热区的镀膜温度高于所述基板的玻璃化转变温度；所述低温加热区的镀膜温度低于所述基板的玻璃化转变温度。本发明所提供的镀膜装置，解决了铜铟镓硒薄膜受限于浮法玻璃玻璃化转变温度的限制，铜铟镓硒薄膜结晶性不佳的问题，实现了非均匀加热，提高了铜铟镓硒薄膜的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜装置 加热区 镀膜 铜铟镓硒薄膜 玻璃化转变 基板 低温加热区 高温加热区 镀膜腔室 太阳能电池领域 浮法玻璃 基板依序 非均匀 结晶性 受限 加热 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜装置，包括镀膜腔室和基板，其特征在于，所述镀膜腔室包括：至少两个加热区；所述基板依序通过所述至少两个加热区；其中，至少一个加热区为高温加热区，至少一个加热区为低温加热区；所述高温加热区的镀膜温度高于所述基板的玻璃化转变温度；所述低温加热区的镀膜温度低于所述基板的玻璃化转变温度。
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