[发明专利]用于蒸发器源的承载器装置在审
申请号: | 201811574378.7 | 申请日: | 2015-05-20 |
公开(公告)号: | CN109609904A | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | G·乌尔温登;E·格罗斯;U·恩勒特;A·索格;A·斯特劳布;P·冯比斯马克;M·皮施;L·科诺斯;A·马里恩菲尔德 | 申请(专利权)人: | NICE太阳能有限责任公司;巴登符腾堡太阳能和氢能源研究中心(ZSW) |
主分类号: | C23C14/14 | 分类号: | C23C14/14;C23C14/24 |
代理公司: | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人: | 郑建晖;潘飞 |
地址: | 德国施瓦*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种自承式承载器装置,其用于蒸发器源(10),所述蒸发器源用于至少一个基底的表面处理,其中,所述承载器装置具有底部(82)和与所述底部(82)连接的侧壁结构(84),其中,所述底部(82)和所述侧壁结构(84)构成一个接收部(85),所述蒸发器源(10)可插入到所述接收部中,并且其中,所述底部(82)和所述侧壁结构(84)由石墨纤维材料构成。此外,本发明涉及一种蒸发器装置,其具有所述类型的承载器装置和布置在其中的蒸发器源(10)。 | ||
搜索关键词: | 蒸发器 承载器装置 侧壁结构 接收部 蒸发器装置 石墨纤维 可插入 自承式 基底 | ||
【主权项】:
1.自承式承载器装置,其用于蒸发器源(10),所述蒸发器源用于至少一个基底的表面处理,其中,所述承载器装置具有底部(82)和与所述底部(82)连接的侧壁结构(84),其中,所述底部(82)和所述侧壁结构(84)构成一个接收部(85),所述蒸发器源(10)可插入到所述接收部中,并且其中,所述底部(82)和所述侧壁结构(84)由石墨纤维材料构成。
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