[发明专利]一种薄膜类产品生产线及薄膜类产品生产方法在审
| 申请号： | 201811577704.X | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111354666A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 彭侃;李建 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池技术领域，特别涉及一种薄膜类产品生产线及薄膜类产品生产方法。该薄膜类产品生产线，包括：在流转方向上，设置有移动设备以及多台工艺设备；移动设备能够沿流转方向将产品自上一工艺设备转移至下一工艺设备，以实现所述产品沿流转方向的流转。上述薄膜类产品生产线，移动设备能够沿流转方向机械化搬运薄膜类产品，大大减少了操作人员工作量，也降低了人工搬运过程对薄膜类产品的损坏，同时，移动设备对产品的机械化运转能够平衡生产线上各个工艺设备作业时间的差异，优化了生产线。可以看出，本发明提供的上述薄膜类产品生产线中产品的运输通道与操作通道实现了分离，互不干扰，提高了生产效率和产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 类产品 生产线 生产 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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