[发明专利]一种适用于手机卡托的真空镀膜方法在审
| 申请号： | 201811578620.8 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN109468603A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 蒋贵霞;贾建国 | 申请（专利权）人： | 昆山英利悦电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于手机卡托的真空镀膜方法，包括将待镀膜手机卡托固定在位于镀膜室内的工架上；在镀膜室内分别安装第一靶材、第二靶材和第三靶材，第一靶材、第二靶材和第三靶材与待镀膜手机卡托之间的距离相等，且三者的延长线相交于一点；分别设置第一磁控溅射机、第二磁控溅射机和第三磁控溅射机，第一磁控溅射机、第二磁控溅射机和第三磁控溅射机分别与第一靶材、第二靶材和第三靶材相连；顺次启动第一磁控溅射机、第二磁控溅射机、第三磁控溅射机，在待镀膜手机卡托上形成第一层薄膜、第二层薄膜和保护膜；对完成镀膜的手机卡托进行降温后从镀膜室中取出。本发明能够大大提高膜层与待镀膜产品之间的结合力，有效避免在使用过程中膜层磨损问题。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射机 靶材 手机卡 镀膜 真空镀膜 薄膜 室内 镀膜产品 距离相等 保护膜 第一层 镀膜室 结合力 延长线 中膜层 膜层 磨损 相交 取出 | ||
【主权项】：
1.一种适用于手机卡托的真空镀膜方法，其特征在于，包括：(1)将经过预处理的待镀膜手机卡托固定在位于镀膜室内的工架上；(2)在镀膜室的左内表面、顶内表面、右内表面分别安装第一靶材、第二靶材和第三靶材，所述第一靶材、第二靶材和第三靶材与待镀膜手机卡托之间的距离相等，且三者的延长线相交于一点；(3)在镀膜室的外侧分别设置第一磁控溅射机、第二磁控溅射机和第三磁控溅射机，所述第一磁控溅射机、第二磁控溅射机和第三磁控溅射机分别与对应的第一靶材、第二靶材和第三靶材相连；(3)对镀膜室进行抽真空，直至镀膜室内的真空度达到设定的要求；(4)顺次启动第一磁控溅射机和第二磁控溅射机，在待镀膜手机卡托上形成第一层薄膜和第二层薄膜；(5)启动第三磁控溅射机，溅射第三靶材在待镀膜手机卡托上形成保护膜；(6)对完成镀膜的手机卡托进行降温处理后从镀膜室中取出。
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