[发明专利]一种多波段分别曝光的曝光装置及方法有效
| 申请号： | 201811579100.9 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN109613802B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 陈海巍;宋志尚;李显杰;钱聪;程珂;茆晓华;吴长江;徐敏;王伟;王军华;刘世林;袁征;蒯多杰 | 申请（专利权）人： | 无锡影速半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05K3/28 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多波段分别曝光的曝光装置及方法，属于印刷线路板技术领域、医学领域和印染领域。本发明采用把不同波长光源分离的思路，在一套光电曝光设备上，适配多个曝光子系统，每个曝光子系统匹配不同波长的光源和对应不同波长范围的光学器件，对待曝光基板进行多次分序曝光。避免了采用高压汞灯所带来的一系列问题，提高了能量的利用率，同时也避免了无用的能量降低光学器件的寿命的问题，且每种规格的光学器件只需承受对应波长的光源照射而非所有光源的照射，进一步提高了光学器件的使用寿命和能量利用率，也降低了系统中光学器件的使用成本和维护成本，使曝光设备的产能整体得到了提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波段 分别 曝光 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多波段光学曝光装置，其特征在于，所述多波段光学曝光装置包括至少两组曝光子系统，每组曝光子系统匹配不同波长范围的光源和对应不同波长范围的光学器件。
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