[发明专利]一种多波段分时段光学曝光装置及方法有效
| 申请号： | 201811579232.1 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN109725503B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 陈海巍;宋志尚;李显杰;钱聪;程珂;徐敏;王伟;王军华;茆晓华;吴长江;刘世林;袁征;蒯多杰 | 申请（专利权）人： | 无锡影速半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05K3/28 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多波段分时段光学曝光装置及方法，属于印刷线路板技术领域。所述方法把不同波长光源分离，在一套光电曝光设备上，适配多个曝光子系统，每个曝光子系统匹配不同波长的光源和对应不同波长范围的空间光调制器，对待曝光基板进行多次分序曝光，将每组曝光子系统根据各自所匹配的波长的光源对待曝光基板进行曝光时所需要的时间间隔设置在多波段光学曝光装置扫描方向上不同的位置处，使得不同的曝光子系统实现在材料的不同深度处、或与不同的光引发剂发生光化学反应有一定时间间隔，使光化学反应更为充分，使得曝光出的图形光泽度更好、清晰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波段 时段 光学 曝光 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多波段光学曝光装置，其特征在于，所述多波段光学曝光装置包括至少两组曝光子系统，每组曝光子系统匹配不同波长范围的光源和对应不同波长范围的空间光调制器，每组曝光子系统根据各自所匹配的波长的光源对待曝光基板进行曝光时所需要的时间间隔设置在多波段光学曝光装置扫描方向上不同的位置处。
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