[发明专利]被加工物的分割方法和分割装置

摘要

提供被加工物的分割方法和分割装置，抑制分割后的器件彼此摩擦。被加工物的分割方法具有：固定步骤(ST1)，隔着扩展片将被加工物载置于保持工作台的保持面上，利用框架固定部对环状框架进行固定；片扩展步骤(ST2)，使保持工作台和框架固定部在与被加工物垂直的方向上相对移动，对扩展片的环状区域进行扩展；吸引保持步骤(ST3)，利用保持工作台的保持面隔着扩展片对被加工物进行吸引保持，维持扩展片的扩展；和加热步骤(ST4)，在实施了吸引保持步骤之后，对扩展后的扩展片的环状区域进行加热而使环状区域收缩。在加热步骤中，一边使在片扩展步骤中分离的保持工作台和框架固定部接近，一边利用加热单元对扩展片进行加热而使环状区域收缩。

主权项

1.一种被加工物的分割方法，对被加工物单元的扩展片进行扩展而使被加工物断裂，该被加工物单元包含：沿着分割预定线形成有分割起点的板状的该被加工物；粘贴有该被加工物的该扩展片；以及粘贴有该扩展片的外周的环状框架，其中，该被加工物的分割方法具有如下的步骤：固定步骤，隔着该扩展片将该被加工物单元的该被加工物载置于保持工作台的保持面上，并利用框架固定部对该环状框架进行固定；片扩展步骤，在实施了该固定步骤之后，使该保持工作台和该框架固定部在与该被加工物垂直的方向上相对移动，对该被加工物的外周与该环状框架的内周之间的该扩展片的环状区域进行扩展；吸引保持步骤，在该片扩展步骤之后，利用该保持工作台的该保持面隔着该扩展片对该被加工物进行吸引保持，维持该扩展片的扩展；以及加热步骤，在实施了该吸引保持步骤之后，对该扩展后的该扩展片的该环状区域进行加热而使该扩展片的该环状区域收缩，在该加热步骤中，一边使在该片扩展步骤中已分离的该保持工作台和该框架固定部接近，一边利用加热单元对该扩展片进行加热而使该扩展片收缩，从而抑制该扩展片从该保持面剥离，抑制该保持面的吸引力降低。