[发明专利]沉积装置有效
| 申请号： | 201811580898.9 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN109957753B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 文在晳;李丞赈;许昌九 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 崔今花;周艳玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种能够提高掩模与基板之间的紧贴性的沉积装置，该沉积装置包括：掩模支撑部，用于支撑掩模；以及至少一个第一磁化部，位于所述掩模支撑部的上方，并且朝向所述掩模支撑部交替提供极性彼此相反的磁力。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 | ||
【主权项】：
1.一种沉积装置，包括：掩模支撑部，用于支撑掩模；以及至少一个第一磁化部，位于所述掩模支撑部的上方，并且朝向所述掩模支撑部交替提供极性彼此相反的磁力。
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