[发明专利]基板叠层检测装置在审
| 申请号： | 201811581078.1 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN109490982A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 李晓明;李长团;陈焕新 | 申请（专利权）人： | 深圳市杰普特光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01V8/12 | 分类号： | G01V8/12 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 李文渊 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市龙华区观湖*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种基板叠层检测装置，其包括距离检测装置和处理器。所述距离检测装置设置于所述夹具平台靠近所述基板的一侧，用于检测所述距离检测装置与所述基板表面之间的距离。所述处理器与所述距离检测装置信号连接，用于根据所述距离检测装置与所述基板表面之间的距离判断置于所述夹具平台的所述基板是否叠层。本申请提供的所述基板叠层检测装置能够有效检测所述基板叠层的情况，从而防止夹具对多片所述基板夹持不紧情况的出现。 | ||
| 搜索关键词： | 距离检测装置 基板 叠层 检测装置 基板表面 夹具平台 处理器 夹具 基板夹持 距离判断 信号连接 有效检测 多片 申请 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基板叠层检测装置，用于检测置于夹具平台的基板是否叠层，其特征在于，包括：距离检测装置(100)，设置于所述夹具平台靠近所述基板的一侧，用于检测所述距离检测装置(100)与所述基板表面之间的距离；处理器(200)，与所述距离检测装置(100)信号连接，用于根据所述距离检测装置(100)与所述基板表面之间的距离判断置于所述夹具平台的所述基板是否叠层。
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