[发明专利]研磨垫有效

专利信息
申请号: 201811581083.2 申请日: 2018-12-24
公开(公告)号: CN109957088B 公开(公告)日: 2022-04-26
发明(设计)人: 小田善之;柴雄一郎 申请(专利权)人: DIC株式会社
主分类号: C08G18/66 分类号: C08G18/66;C08G18/48;C08G18/32
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 李艳;臧建明
地址: 日本东京板桥区坂下三丁目3*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种具有高研磨速率、且可获得高平坦性(边缘倒圆少)优异的被研磨物的研磨垫及其用氨基甲酸酯树脂组合物。本发明使用的研磨垫,其为含有包含氨基甲酸酯预聚物(A)的主剂(i)、与硬化剂(ii)的氨基甲酸酯树脂组合物的硬化物,氨基甲酸酯预聚物(A)是含有包含分子量为300以上的多元醇(a1)及分子量未满300的短链二醇(a2)的多元醇成分(a)与聚异氰酸酯(b)的组合物的反应后的生成物,且在末端具有异氰酸酯基,多元醇成分(a)包含40质量%以上且90质量%以下的聚四亚甲基二醇以及1质量%以上的短链二醇(a2),所述硬化物在120℃以上且200℃以下的范围中具有tanδ的峰值,且所述120℃以上且200℃以下的范围中的tanδ的峰值为0.18以上。
搜索关键词: 研磨
【主权项】:
1.一种研磨垫,其为含有包含氨基甲酸酯预聚物(A)的主剂(i)、与硬化剂(ii)的氨基甲酸酯树脂组合物的硬化物,所述研磨垫的特征在于:所述氨基甲酸酯预聚物(A)是包含分子量为300以上的多元醇(a1)及分子量未满300的短链二醇(a2)的多元醇成分(a)与聚异氰酸酯(b)反应后的生成物,且在末端具有异氰酸酯基,所述多元醇成分(a)以40质量%以上且90质量%以下的含有率包含聚四亚甲基二醇,所述短链二醇(a2)的含有率在所述多元醇成分(a)中为1质量%以上,所述硬化物在将测定频率设为1Hz的动态粘弹性测定中,在120℃以上且200℃以下的范围中具有tanδ的峰值,且所述120℃以上且200℃以下的范围中的tanδ的峰值为0.18以上。
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