[发明专利]带材真空连续镀膜系统及其所用的过渡舱单元

摘要

本发明公开了一种带材真空连续镀膜系统及其所用的过渡舱单元，属于真空连续镀膜技术领域，提供一种带材真空连续镀膜用过渡舱单元，用以实现对真空镀膜系统所需的真空要求；还提供一种能够实现对带材进行连续真空镀膜的系统，用以解决先用的镀膜系统中需要将所有工艺设备与舱室需全部置于全封闭的大真空舱体中问题。本发明可仅在带材进出真空镀膜区两侧的输送轨迹上设置过渡舱单元，进而实现对带材的输送轨迹所对应的输送通道进行隔离密封，有效地确保了在真空镀膜区内部形成的真空环境；因此本发明无需设置全封闭的大真空舱体以将放卷机构、收卷机构、真空镀膜区以及带材的整个输送通道等包围在该大真空舱体内部。

主权项

1.带材真空连续镀膜用过渡舱单元，其特征在于：所述过渡舱单元包括由四周的壁板围成的两端开口的舱体(1)，在舱体(1)的两端分别为带材(2)的进料口和出料口，在舱体(1)内至少设置有一块隔板(3)，在隔板(3)上贯穿地开设有允许带材(2)通过的带状通孔(4)；在每块隔板(3)的至少一侧设置有一组密封机构，所述密封机构包括上密封辊(5)、下密封辊(6)和端部密封板(7)，上密封辊(5)和下密封辊(6)呈镜像对称地设置在带材(2)的输送轨迹的两侧，并且上密封辊(5)的外周滚动面能够同时与带状通孔(4)的上边沿和带材(2)的上侧面密封接触配合，下密封辊(6)的外周滚动面能够同时与带状通孔(4)的下边沿和带材(2)的下侧面密封接触配合；在带状通孔(4)两端对应的边沿分别设置有端部密封板(7)，所述端部密封板(7)包括与上密封辊(5)的外周滚动面密封接触配合的上弧形面(71)和与下密封辊(5)的外周滚动面密封接触配合的下弧形面(72)。