[发明专利]载板和镀膜设备在审
| 申请号： | 201811583129.4 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN109628905A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 沈良 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;杜丹丹 |
| 地址： | 100176 北京市北京经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种载板和镀膜设备，所述载板上设置有至少一个镂空槽，每个所述镂空槽内均设置有支撑构件以使得待加工部件能够放置在所述镂空槽内。应用本公开所述载板及镀膜设备在镀膜过程中无需翻转硅片，也就无需重复破真空，从而避免硅片在镀膜过程中受空气暴露影响，减少了硅片受污染的几率，而且改善了因现有制备双面太阳能电池片工序繁琐而带来的电池片制备效率低下、电性能不良等问题，不仅能改善电池片的膜层质量，还能减少电池片制备时间，从而提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜设备 电池片 镂空槽 硅片 制备 镀膜过程 载板 双面太阳能电池片 工作效率 加工部件 空气暴露 支撑构件 电性能 破真空 翻转 膜层 重复 污染 应用 | ||
【主权项】：
1.一种载板，用于镀膜加工，其特征在于，所述载板上设置有至少一个镂空槽，每个所述镂空槽内均设置有支撑构件以使得待加工部件能够放置在所述镂空槽内。
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