[发明专利]对准装置、光刻装置和物品制造方法有效
| 申请号： | 201811585661.X | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN109976112B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 宫崎忠喜 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 杨小明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及对准装置、光刻装置和物品制造方法。提供执行基板的对准的对准装置。所述装置包括：在保持基板的同时移动的台架；捕捉基板上的标记的图像的成像设备；和基于标记的图像获得标记的位置的处理器。成像设备包含图像传感器和存储通过图像传感器获得的图像数据的存储设备。成像设备在图像传感器执行电荷的蓄积并且完成图像数据向存储设备的传送之后执行下一次图像捕捉。当在移动台架的同时在多个位置处通过使用成像设备捕捉标记的图像时，所述装置与图像数据向存储设备的传送同时地为下一次图像捕捉移动台架。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 装置 光刻 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种通过检测设置在基板上的标记来执行基板的对准的对准装置，其特征在于，所述装置包括：台架，被配置为在保持基板的同时移动；成像设备，被配置为捕捉由台架保持的基板上的标记的图像；和处理器，被配置为基于通过成像设备捕捉的标记的图像获得标记的位置，其中，成像设备包含：图像传感器，被配置为通过光电转换蓄积电荷；和存储设备，被配置为暂时存储基于通过图像传感器蓄积的电荷获得的图像数据，成像设备被配置为在图像传感器执行电荷的蓄积并且完成通过蓄积获得的图像数据向存储设备的传送之后执行下一次图像捕捉，以及当在移动台架的同时在多个位置处通过使用成像设备捕捉标记的图像时，对准装置与图像数据向存储设备的传送同时地为下一次图像捕捉移动台架。
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