[发明专利]一种多霍尔测试样品的测试夹具、测试控制器及测试方法在审
申请号: | 201811586561.9 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN109696568A | 公开(公告)日: | 2019-04-30 |
发明(设计)人: | 张杨;李弋洋 | 申请(专利权)人: | 中科芯电半导体科技(北京)有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R31/26 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 张素红 |
地址: | 100076 北京市大兴区西红*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种多霍尔测试样品的测试夹具、测试控制器及测试方法。该夹具连接于霍尔效应测试仪,夹具上设有多块焊盘,每块焊盘上焊接有一个测试电极对应用于测试一个样品。测试控制器通过金属导线与上述测试夹具的焊盘连接;控制器内部有与焊盘个数对应的4进4出继电器,每个继电器对应用于测试夹具上的一块样品。当测试一个样品时,夹持该样品的焊盘对应连接的测试控制器内继电器吸合,其余继电器断开,此时对该样品进行测试;当测试另一样品时,夹持该另一样品的焊盘对应连接的测试控制器内继电器吸合,其余继电器断开,此时对该另一样品进行测试。以往4块MBE生长GaAs基本征GaAs结构样品霍尔效应测试需2小时,目前仅1小时即可。 | ||
搜索关键词: | 焊盘 测试控制器 测试 测试夹具 夹具 继电器断开 继电器吸合 测试样品 霍尔效应 霍尔 夹持 继电器 测试电极 结构样品 金属导线 控制器 测试仪 多块 焊接 电器 生长 | ||
【主权项】:
1.一种多霍尔测试样品的测试夹具,连接于霍尔效应测试仪,其特征在于,该夹具上设有多块焊盘,每块焊盘上焊接有一个测试电极对应用于测试一个样品。
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