[发明专利]微型光纤压力传感器及其制造方法、压力传感系统在审

专利信息
申请号: 201811587821.4 申请日: 2018-12-25
公开(公告)号: CN109431481A 公开(公告)日: 2019-03-08
发明(设计)人: 刘显明;雷小华;章鹏;张钟毓 申请(专利权)人: 苏州博思光学有限公司
主分类号: A61B5/0215 分类号: A61B5/0215
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 孙仿卫;陈婷婷
地址: 215615 江苏省苏州市张家*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种微型光纤压力传感器及其制造方法、压力传感系统,传感器包括具有沿延伸方向贯穿的通孔的套管、设置在套管的一端的封套、滑动地设置在通孔内的滑动光纤、以及相对固定地设置在通孔内的传输光纤,滑动光纤的一端固定连接在封套上、另一端的端面为滑动反射面,传输光纤靠近滑动光纤的端面为固定反射面,滑动反射面与固定反射面相互平行且存在间距,该间距构成法珀腔。传感器受压时,引起法珀腔的腔长变化,通过获得并比对腔长和压力间的函数关系,能够测得压力值。相比于膜片式法珀传感器,本发明的传感器不会产生膜片式传感器在应用时的法珀腔反射面变形的问题,提高了测量范围和精度。
搜索关键词: 滑动光纤 滑动 法珀腔 反射面 传感器 通孔 压力传感系统 固定反射面 压力传感器 传输光纤 微型光纤 封套 套管 膜片式传感器 法珀传感器 函数关系 腔长变化 变形的 膜片式 受压时 比对 腔长 制造 平行 测量 贯穿 延伸 应用
【主权项】:
1.一种微型光纤压力传感器,其特征在于:包括套管、滑动光纤、传输光纤,所述套管具有沿延伸方向贯穿的通孔,所述滑动光纤滑动配合地设置在所述通孔中,所述传输光纤的一端固定地穿设在所述通孔中且相对所述套管固定设置,所述套管远离所述传输光纤的一端设置有由弹性材料制成的封套,所述滑动光纤的一端固定连接在所述封套上、另一端的端面为滑动反射面,所述传输光纤靠近所述滑动光纤的端面为固定反射面,所述滑动反射面与所述固定反射面相互平行且存在间距,该间距构成法珀腔。
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