[发明专利]高效率六自由度并联机器人精密测试装置有效

专利信息
申请号: 201811587848.3 申请日: 2018-12-25
公开(公告)号: CN109551520B 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 赵海波;赵伟国;薛闯 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: B25J19/00 分类号: B25J19/00
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 吴乃壮
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明公开了一种高效率六自由度并联机器人精密测试装置,包括:双频激光干涉仪;分光镜,其设置于所述稳频激光的光路上,将所述稳频激光分为三维正交的三束激光束;立方棱镜,其设置于待测六自由度并联机器人的动平台中心,且位于一束激光束的光路上,另外两束激光束各通过两转折镜照射至所述立方棱镜的镜面上,且三束激光束分别与所述立方棱镜三个相互正交的镜面垂直,三束激光束的最后一段直线光路上各设置有一干涉镜;自准直光管,其光路与所述立方棱镜未被三束激光束照射的一个镜面垂直。本发明可以大大提高测试效率,而且精度高,调试方便,可以对多种规格的六自由度并联机器人进行精密测试。
搜索关键词: 高效率 自由度 并联 机器人 精密 测试 装置
【主权项】:
1.一种高效率六自由度并联机器人精密测试装置,其特征在于,包括:双频激光干涉仪,其提供水平的稳频激光;分光镜,其设置于所述稳频激光的光路上,以将所述稳频激光分为三维正交的三束激光束,三束激光束中包括二束水平激光束;立方棱镜,其设置于待测六自由度并联机器人的动平台中心,且位于一束水平激光束的光路上,另外两束激光束各通过两转折镜照射至所述立方棱镜的镜面上,且三束激光束分别与所述立方棱镜三个相互正交的镜面垂直,三束激光束的最后一段直线光路上各设置有一干涉镜,以将每束激光束分为两路同方向的相干激光;自准直光管,其光路与所述立方棱镜未被三束激光束照射的一个镜面垂直。
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