[发明专利]一种石英坩埚内表面涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201811589756.9 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109627050B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 王文庆;王定永 | 申请（专利权）人： | 宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/89 | 分类号： | C04B41/89;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 慈溪夏远创科知识产权代理事务所(普通合伙) 33286 | 代理人： | 苗浩 |
| 地址： | 315490 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英坩埚内表面涂层，所述涂层包括涂覆于所述石英坩埚内表面基体的内涂层及涂覆于内涂层上的外涂层；所述内涂层的材料由醋酸钡、改性水玻璃、碳化硅和氮化硅组成，所述外涂层为氮化硅结合碳化硅材料。本发明的石英坩埚内表面涂层，可以有效防止石英坩埚内极少量的金属原子游离至石英坩埚表面，造成涂层缺陷，从而影响单晶硅的成品率，通过氮化硅结合碳化硅复合涂层的制备进一步延长石英坩埚使用寿命。本发明还公开了一种石英坩埚内表面涂层的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 坩埚 表面 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种石英坩埚内表面涂层，其特征在于，所述涂层包括涂覆于所述石英坩埚内表面基体的内涂层及涂覆于内涂层上的外涂层；所述内涂层的材料由醋酸钡、改性水玻璃、碳化硅和氮化硅组成，所述外涂层为氮化硅结合碳化硅材料。
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