[发明专利]纳米机器人制作工艺有效
| 申请号： | 201811593005.4 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111347461B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 孙一绮;杨志 | 申请（专利权）人： | 湖南早晨纳米机器人有限公司 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00;B25J7/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 410300 湖南省长沙市浏阳经*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种纳米机器人制作工艺，包括步骤：研磨清洗玻璃基板；涂低温解冻胶；沉积；涂热敏耐酸胶；热敏直写；酸蚀；清洗；剥离。本发明提供的纳米机器人制作工艺，利用热敏直写机加工得到尺寸小于500nm的纳米机器人，利用酸蚀和低温解冻的方法实现了将纳米机器人顺利从玻璃基板上剥离的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 机器人 制作 工艺 | ||
【主权项】：
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