[发明专利]一种石墨舟及其制作方法有效
| 申请号： | 201811593618.8 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109680265B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 熊诗龙;金井升;王东;赵迎财 | 申请（专利权）人： | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/513 | 分类号： | C23C16/513;C23C16/30 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 314416 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种石墨舟，包括石墨舟片、陶瓷杆、石墨杆、石墨块以及工艺卡点，所述陶瓷杆用于固定所述石墨舟片，所述石墨杆用于固定所述石墨舟片与所述石墨块，所述石墨舟表面设置有预设厚度的氮氧化硅。本申请中的石墨舟表面设置有预设厚度的氮氧化硅，在对硅片镀氮化硅膜过程中，将硅片放置在石墨舟中，由于石墨舟表面有预设厚度的氮氧化硅，氮化硅与氮氧化硅材质相似，两者间的摩擦系数在0.02左右，显著低于石墨与氮化硅的摩擦系数0.08，减少硅片插片时的划伤，提升良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种石墨舟，其特征在于，包括石墨舟片、陶瓷杆、石墨杆、石墨块以及工艺卡点，所述陶瓷杆用于固定所述石墨舟片，所述石墨杆用于固定所述石墨舟片和所述石墨块，所述石墨舟表面设置有预设厚度的氮氧化硅。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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