[发明专利]一种金刚线切割多晶硅的制绒方法在审
申请号: | 201811593932.6 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN109680337A | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 赵迎财;金井升;张昕宇 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B33/08 | 分类号: | C30B33/08;C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵青朵 |
地址: | 314416 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种金刚线切割多晶硅的制绒方法,包括以下步骤:a)将金刚线切割多晶硅采用H2O2‑HCl混合溶液体系进行清洗,得到清洗后的金刚线切割多晶硅;b)将步骤a)得到清洗后的金刚线切割多晶硅依次进行激光刻蚀和酸制绒,得到制绒后的金刚线切割多晶硅。与现有技术相比,本发明提供的制绒方法针对金刚线切割多晶硅的表面结构,首先采用特定的溶液体系进行清洗,再配合特定工艺步骤进行酸制绒;该制绒方法不使用金属离子,从而在大大降低制绒成本的同时,不会造成制绒过程中硅片的污染,使制绒后的金刚线切割多晶硅具有较低反射率,能够提高太阳能电池的电性能及转换效率。 | ||
搜索关键词: | 多晶硅 线切割 制绒 清洗 酸制绒 混合溶液体系 太阳能电池 表面结构 低反射率 工艺步骤 激光刻蚀 金属离子 溶液体系 转换效率 电性能 硅片 污染 配合 | ||
【主权项】:
1.一种金刚线切割多晶硅的制绒方法,包括以下步骤:a)将金刚线切割多晶硅采用H2O2‑HCl混合溶液体系进行清洗,得到清洗后的金刚线切割多晶硅;b)将步骤a)得到清洗后的金刚线切割多晶硅依次进行激光刻蚀和酸制绒,得到制绒后的金刚线切割多晶硅。
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