[发明专利]一种金刚线切割多晶硅的制绒方法在审

专利信息
申请号: 201811593932.6 申请日: 2018-12-25
公开(公告)号: CN109680337A 公开(公告)日: 2019-04-26
发明(设计)人: 赵迎财;金井升;张昕宇 申请(专利权)人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
主分类号: C30B33/08 分类号: C30B33/08;C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 赵青朵
地址: 314416 浙江*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供了一种金刚线切割多晶硅的制绒方法,包括以下步骤:a)将金刚线切割多晶硅采用H2O2‑HCl混合溶液体系进行清洗,得到清洗后的金刚线切割多晶硅;b)将步骤a)得到清洗后的金刚线切割多晶硅依次进行激光刻蚀和酸制绒,得到制绒后的金刚线切割多晶硅。与现有技术相比,本发明提供的制绒方法针对金刚线切割多晶硅的表面结构,首先采用特定的溶液体系进行清洗,再配合特定工艺步骤进行酸制绒;该制绒方法不使用金属离子,从而在大大降低制绒成本的同时,不会造成制绒过程中硅片的污染,使制绒后的金刚线切割多晶硅具有较低反射率,能够提高太阳能电池的电性能及转换效率。
搜索关键词: 多晶硅 线切割 制绒 清洗 酸制绒 混合溶液体系 太阳能电池 表面结构 低反射率 工艺步骤 激光刻蚀 金属离子 溶液体系 转换效率 电性能 硅片 污染 配合
【主权项】:
1.一种金刚线切割多晶硅的制绒方法,包括以下步骤:a)将金刚线切割多晶硅采用H2O2‑HCl混合溶液体系进行清洗,得到清洗后的金刚线切割多晶硅;b)将步骤a)得到清洗后的金刚线切割多晶硅依次进行激光刻蚀和酸制绒,得到制绒后的金刚线切割多晶硅。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司,未经浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811593932.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code