[发明专利]乙硅烷的制备方法在审
| 申请号： | 201811594038.0 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109399644A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 万烨;刘见华;赵雄;严大洲;赵宇;郭树虎 | 申请（专利权）人： | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;谢湘宁 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种乙硅烷的制备方法。该制备方法包括：对多晶硅残液进行过滤，得到滤液；对滤液进行精馏过程，得到氯代乙硅烷；使氯代乙硅烷与还原剂进行还原反应，得到乙硅烷。多晶硅残液中包含氯代乙硅烷，以多晶硅残液为制备原料能够省去氯代乙硅烷的制备步骤，大大降低乙硅烷的制备成本。通过过滤步骤将多晶硅残液中的固体杂质(如颗粒状物质、金属聚合物、含无定形硅和金属的杂质)去除，最后将得到的滤液与还原剂进行反应，得到所需的产品乙硅烷。上述制备方法具有成本低和乙硅烷纯度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 乙硅烷 制备 多晶硅 残液 氯代 还原剂 过滤 金属聚合物 颗粒状物质 固体杂质 还原反应 无定形硅 精馏 去除 金属 | ||
【主权项】：
1.一种乙硅烷的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：对多晶硅残液进行过滤，得到滤液；对所述滤液进行精馏过程，得到氯代乙硅烷；使所述氯代乙硅烷与还原剂进行还原反应，得到所述乙硅烷。
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