[发明专利]一种防止单晶炉取装石墨埚底碰坏加热器的装置及方法在审
| 申请号： | 201811595860.9 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111349965A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 连庆伟;鲁强;姜舰;秦瑞锋;盖晶虎;戴小林;吴志强 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防止单晶炉取装石墨埚底时碰坏加热器的装置及方法。该装置包括由三条臂梁构成的钢架结构、和连接在钢架结构末端的三个钩子；其中，三条臂梁的一端固定在一起，在每根臂梁的另一端分别设有滑动槽；所述钩子具有位于上端的固定部、位于中间的连接杆和位于下端的平头部，滑动槽的外侧端部具有供钩子的连接杆卡入的结合槽；钩子与钢架结构连接时，固定部位于滑动槽内并与之连接，三个钩子的平头部用于勾住石墨埚底的下边缘。通过垂直上下抓取石墨埚底防止过程中碰坏加热器达到安全取装石墨埚底的目的，加强对于主加热器的保护，同时防止对擦炉人员造成不必要的伤害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 单晶炉取装 石墨 埚底碰坏 加热器 装置 方法 | ||
【主权项】：
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