[发明专利]一种多晶硅还原炉在审
申请号: | 201811595888.2 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN109502591A | 公开(公告)日: | 2019-03-22 |
发明(设计)人: | 顾雨彤;汪玉洁;梁亚 | 申请(专利权)人: | 顾雨彤 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610599 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明涉及多晶硅生产设备领域,具体的说是一种多晶硅还原炉,包括观察窗、密封套、散热结构、布线结构、安装板、限位结构、定位结构和导向结构;“L”字形结构的用于安装多晶硅还原炉控制组件的安装板与用于防尘的密封套之间滑动连接;密封套上设有用于对控制组件进行降温的散热结构;安装板的内部设有用于驱动密封套滑动的导向结构;安装板上设有用于分类固定导线的布线结构。本发明的密封套上设有用于通过冷却水进行换热散热的散热结构,使安装板可固定在多晶硅还原炉的支架上,减少了控制导线的使用,使检修维护更加快捷,密封套和安装板之间滑动连接,便于将安装板上的控制组件完全外露,进而大大提高了控制组件的检修维护效率。 | ||
搜索关键词: | 安装板 密封套 多晶硅还原炉 控制组件 散热结构 布线结构 导向结构 滑动连接 检修维护 多晶硅生产设备 定位结构 固定导线 控制导线 限位结构 字形结构 防尘 观察窗 可固定 冷却水 滑动 散热 外露 换热 支架 驱动 分类 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅还原炉,其特征在于:包括观察窗(1)、密封套(2)、散热结构(3)、布线结构(4)、安装板(5)、限位结构(6)、定位结构(7)和导向结构(8);“L”字形结构的用于安装多晶硅还原炉控制组件的所述安装板(5)与用于防尘的所述密封套(2)之间滑动连接;所述密封套(2)上设有用于对控制组件进行降温的所述散热结构(3);所述密封套(2)上设有矩形结构的所述观察窗(1);所述安装板(5)的内部设有用于驱动所述密封套(2)滑动的所述导向结构(8);所述安装板(5)的端部设有用于对所述密封套(2)进行限位的所述限位结构(6);所述密封套(2)上设有用于对所述限位结构(6)进行定位的所述定位结构(7);所述安装板(5)上设有用于分类固定导线的所述布线结构(4)。
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