[发明专利]用于增强基于反射镜的光成像带电粒子显微镜中SE检测的方法和设备在审
| 申请号： | 201811596451.0 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109975341A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | G.格莱德修;M.马祖兹 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;申屠伟进 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于增强基于反射镜的光成像带电粒子显微镜中SE检测的方法和设备。设备包含：反射器，其定位在样品位置附近，所述样品位置被定位成从带电粒子束(CPB)聚焦组合件沿CPB轴线接收CPB，使得所述反射器被定位成接收基于CPB‑样品相互作用或光子‑样品相互作用从所述样品位置处的样品发射的光并且将所述光引导到光电检测器；以及转向电极，其定位在所述反射器附近，以便将基于所述CPB‑样品相互作用从所述样品发射的二次带电粒子引导远离所述反射器和所述CPB轴线。还公开了方法和系统。 | ||
| 搜索关键词： | 反射器 样品位置 方法和设备 带电粒子 反射镜 光成像 显微镜 二次带电粒子 带电粒子束 光电检测器 转向电极 发射 光引导 组合件 光子 检测 聚焦 | ||
【主权项】：
1.一种设备，其包括：反射器，其定位在样品位置附近，所述样品位置被定位成从带电粒子束(CPB)聚焦组合件沿CPB轴线接收CPB，使得所述反射器被定位成接收基于CPB‑样品相互作用或光子‑样品相互作用从所述样品位置处的样品发射的光并且将所述光引导到光电检测器；以及转向电极，其定位在所述反射器附近，以便将基于所述CPB‑样品相互作用从所述样品发射的二次带电粒子引导远离所述反射器和所述CPB轴线。
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