[发明专利]一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置在审
| 申请号： | 201811598070.6 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109632727A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 唐紫超;施再发;刘方刚;余竟雄;杨静;郑兰荪 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置，涉及真空紫外可调单光子电离技术。第1观察窗与第2观察窗成90°安装；短脉冲激光器的光路垂直于第1观察窗和聚焦镜，聚焦镜将短脉冲激光器聚焦于脉冲阀内的高压脉冲气，脉冲阀垂直正交安装在短脉冲激光器焦点上方；短脉冲激光器聚焦于脉冲阀的高压脉冲气产生的真空紫外光和短脉冲激光器光路形成40°入射到光栅，真空紫外光经过光栅分光被检测器接收；检测器被安装在高压脉冲气正下方，检测器和光栅平行安装；所述短脉冲激光器、聚焦镜、高压脉冲气、光栅和检测器的中心处于同一平面上；所述分子泵安装于真空腔底面正中心，组成真空系统，其真空度为10‑5～10‑4Pa。 | ||
| 搜索关键词： | 短脉冲激光器 光栅 高压脉冲 检测器 观察窗 聚焦镜 脉冲阀 可调 紫外单光子电离 激光等离子体 真空紫外光 聚焦 单光子电离 被检测器 垂直正交 光路垂直 平行安装 真空系统 分子泵 真空腔 正中心 底面 分光 光路 入射 焦点 | ||
【主权项】：
1.一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置，其特征在于设有短脉冲激光器、第1观察窗、光栅、分子泵、检测器、脉冲阀、第2观察窗、聚焦镜和真空腔；所述第1观察窗与第2观察窗成90°安装；短脉冲激光器的光路垂直于第1观察窗和聚焦镜，聚焦镜将短脉冲激光器聚焦于脉冲阀内的高压脉冲气，脉冲阀垂直正交安装在短脉冲激光器焦点上方；短脉冲激光器聚焦于脉冲阀的高压脉冲气产生的真空紫外光和短脉冲激光器光路形成40°入射到光栅，真空紫外光经过光栅分光被检测器接收；检测器被安装在高压脉冲气正下方，检测器和光栅平行安装；所述短脉冲激光器、聚焦镜、高压脉冲气、光栅和检测器的中心处于同一平面上；所述分子泵安装于真空腔底面正中心，组成真空系统，用于提供高真空，其真空度为10‑5～10‑4Pa。
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