[发明专利]一种超微小孔的去毛刺表处工艺在审
| 申请号： | 201811598796.X | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109605136A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 许国庆;张琳琳 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B9/06 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体领域的精密加工技术。是一种超微小孔的去毛刺表处工艺，步骤如下：(1)采用顺纹抛光+高压水枪清洗验证；(2)采用乱纹抛光+高压水枪清洗验证；(3)采用顺纹抛光+高压水枪+化学清洗验证；(4)采用顺纹抛光+高压水枪+电化学抛光验证；(5)采用乱纹抛光+高压水枪+电化学抛光验证；(6)采用乱纹抛光+高压水枪+化学清洗验证。保证小孔的内侧壁和小孔边缘无微小毛刺，极大的提升了匀气盘生产加工良率。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 验证 高压水枪 乱纹 顺纹 高压水枪清洗 电化学抛光 化学清洗 去毛刺 微小孔 小孔 精密加工技术 半导体领域 生产加工 微小毛刺 内侧壁 匀气盘 良率 保证 | ||
【主权项】：
1.一种超微小孔的去毛刺表处工艺，其特征在于，步骤如下：(1)采用顺纹抛光+高压水枪清洗验证；(2)采用乱纹抛光+高压水枪清洗验证；(3)采用顺纹抛光+高压水枪+化学清洗验证；(4)采用顺纹抛光+高压水枪+电化学抛光验证；(5)采用乱纹抛光+高压水枪+电化学抛光验证；(6)采用乱纹抛光+高压水枪+化学清洗验证。
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