[发明专利]共蒸发设备和温度监控方法在审
| 申请号： | 201811599597.0 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111367328A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 杨春晓 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种共蒸发设备和温度监控方法，其中共蒸发设备包括：加热腔室，加热腔室内设置有用于承载基板的传输装置，加热腔室内间隔设置有至少两个用于对基板加热的加热器；温度检测组件包括沿第一方向排布的至少两个温度传感器和沿第二方向排布的至少两个温度传感器，各温度传感器的工作区均朝向基板，温度传感器用于采集基板表面的温度数据；处理器，处理器与各温度传感器和各加热器均通信连接，处理器用于根据各温度传感器采集的温度数据，调整加热器的加热温度，对基板表面进行温度补偿。无需在基板上高温粘贴热电偶即可实现温度检测，避免了粘贴热电偶造成基板破碎的技术问题，提高了温度监控的准确性和便捷性。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 设备 温度 监控 方法 | ||
【主权项】：
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