[发明专利]一种片上偏振旋转测试装置和方法在审
| 申请号： | 201811601341.9 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111366337A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 华士跃;李蒙 | 申请（专利权）人： | 中兴光电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 蒋冬梅;龙洪 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种片上偏振旋转测试装置和方法，其中，所述装置包括第一测试结构和第二测试结构，其中：所述第一测试结构包括第一横电TE偏振光栅、第二TE偏振光栅和位于所述第一TE偏振光栅、第二TE偏振光栅之间的第一非对称波导；所述第二测试结构包括第三TE偏振光栅、横磁TM偏振光栅和位于所述第三TE偏振光栅、TM偏振光栅之间的第二非对称波导；所述第一非对称波导和第二非对称波导的长度相同，采用相同的双重曝光工艺制备而成。通过本发明实施例，可以在流片的初始阶段判断双重曝光工艺是否引入了偏振旋转，设计简单，测试效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏振 旋转 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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