[发明专利]薄膜晶体管有源层墨水及一种薄膜晶体管的制备方法有效
| 申请号： | 201811603496.6 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111370495B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 黄航 | 申请（专利权）人： | TCL科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/24;H01L21/34;H01L21/368 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 516006 广东省惠州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开薄膜晶体管有源层墨水及一种薄膜晶体管的制备方法，所述薄膜晶体管有源层墨水包括金属氧化物前驱体盐，醇醚类有机溶剂和粘度调节剂。利用高粘度醇类溶剂调节墨水的整体粘度，较高粘度的墨水能够阻碍干燥时溶质从中间向边缘的移动，从而减弱“咖啡环”现象，最终得到均匀的薄膜。醇类溶剂的沸点低于300℃，可以在高温退火的工艺中将其完全除去，从而不影响氧化物薄膜的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 有源 墨水 一种 制备 方法 | ||
【主权项】：
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