[发明专利]一种用于P型单晶PERC电池的背面钝化膜及背面镀膜工艺在审
| 申请号： | 201811603648.2 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109509796A | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 霍亭亭;张树德;魏青竹;倪志春;连维飞;胡党平 | 申请（专利权）人： | 苏州腾晖光伏技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0216 | 分类号： | H01L31/0216;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人： | 刘俊玲 |
| 地址： | 215542 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于单晶PERC电池的制备技术领域，具体涉及一种用于P型单晶PERC电池的背面钝化膜及背面镀膜方法。该背面钝化膜包括PERC电池背面由内向外依次沉积的氧化铝层、SiNx层和SiOXNY层。本发明专利在原有的Al2O3/SiNx镀膜层基础上，在最外层增加了SiOXNY层。试验例测试结果表明，在P型单晶PERC电池上使用原来的背钝化膜Al2O3/SiNx，厚度为4nm/100nm时，电池对光的总吸收率为74.1％；当使用本发明实施例1提供的背面钝化膜Al2O3/SiNx/SiOXNY，电池对光的总吸收率为92.8％；同时，该钝化膜层可起到保护作用，提高了短路电流，提升电池效率。 | ||
| 搜索关键词： | 背面钝化膜 电池 单晶 吸收率 背面 制备技术领域 电池背面 电池效率 镀膜工艺 短路电流 钝化膜层 氧化铝层 由内向外 镀膜层 钝化膜 原有的 最外层 镀膜 沉积 试验 | ||
【主权项】：
1.一种用于P型单晶PERC电池的背面钝化膜，其包括PERC电池背面由内向外依次沉积的氧化铝层、SiNx层和SiOXNY层。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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