[发明专利]一种平板显示光阻剥离设备在审

专利信息
申请号: 201811605192.3 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN109597285A 公开(公告)日: 2019-04-09
发明(设计)人: 蒋新;孔祥振;田丹女;陈国才;窦福存;施利君 申请(专利权)人: 苏州晶洲装备科技有限公司
主分类号: G03F7/42 分类号: G03F7/42
代理公司: 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 代理人: 项丽
地址: 215500 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种平板显示光阻剥离设备,包括槽体,槽体内设置有若干个用于输送玻璃面板的传动辊,在传动辊的上下分别设置有若干个雾化喷头,所述雾化喷头与外部的药液供给装置相连,在槽体的两端按照传送方向前后分别开有用于玻璃面板进出的进口与出口,其中,所述若干个传动辊相平行地设置在槽体中,且传动辊与水平方向呈一定倾斜角度地固定槽体内。本发明能够实现对于玻璃面板的有效剥膜,提高了产品良品率的同时,能够确保剥膜设备的工作安全性和使用寿命。
搜索关键词: 传动辊 玻璃面板 槽体 剥离设备 平板显示 雾化喷头 剥膜 光阻 体内 药液供给装置 工作安全性 倾斜角度地 传送方向 使用寿命 固定槽 良品率 平行 外部 进口 出口
【主权项】:
1.一种平板显示光阻剥离设备,其特征在于,包括槽体,槽体内设置有若干个用于输送玻璃面板的传动辊,在传动辊处设置有若干个雾化喷头,所述雾化喷头与外部的药液供给装置相连,在槽体的两端按照传送方向前后分别开有用于玻璃面板进出的进口与出口,其中,所述若干个传动辊相平行地设置在槽体中,且传动辊与水平方向呈一定倾斜角度地固定槽体内。
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