[发明专利]一种光气耦合晶体生长装置在审
| 申请号： | 201811608221.1 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109652859A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 李成明;杨功寿;陈建;倪绿军;郑小平;张国义 | 申请（专利权）人： | 北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B9/10 |
| 代理公司： | 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 | 代理人： | 邓燕 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市松*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光气耦合晶体生长装置，包括反应釜体、激光光源、坩埚和籽晶，籽晶设于坩埚内，坩埚一侧开设有坩埚通光口，激光光源通过坩埚通光口以切向位置射入坩埚内、并在坩埚内以回音壁传播模式传播，与现有技术相比，本发明的激光光源从坩埚一侧以切向位置射入坩埚内，激光光源以回音壁传播模式沿坩埚内壁传播，促使输入的激光光源与氮气充分耦合，高效激发更多的氮电离，从而加速氮溶入反应溶液中，提高反应溶液中的氮含量，进而大大提升晶体生长效率。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 激光光源 传播模式 反应溶液 切向位置 生长装置 耦合晶体 回音壁 通光口 光气 射入 籽晶 氮气 反应釜体 高效激发 晶体生长 坩埚内壁 电离 耦合 传播 | ||
【主权项】：
1.一种光气耦合晶体生长装置，包括反应釜体、激光光源、坩埚和籽晶，籽晶设于坩埚内，其特征在于，坩埚一侧开设有坩埚通光口，激光光源通过坩埚通光口以切向位置射入坩埚内、并在坩埚内以回音壁传播模式传播。
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