[发明专利]一种可控悬浮晶体生长反应釜在审
申请号: | 201811608232.X | 申请日: | 2018-12-27 |
公开(公告)号: | CN109402738A | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 李成明;杨功寿;陈建;倪绿军;郑小平;张国义 | 申请(专利权)人: | 北京大学东莞光电研究院 |
主分类号: | C30B29/40 | 分类号: | C30B29/40;C30B9/10 |
代理公司: | 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 | 代理人: | 邓燕 |
地址: | 523808 广东省东莞市松*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种可控悬浮晶体生长反应釜,包括反应釜体、籽晶和设置在该反应釜体内的坩埚,所述坩埚内装载有反应溶液,所述籽晶设于反应溶液内,还包括位于坩埚内的悬浮装置,所述籽晶与所述悬浮装置连接,所述悬浮装置可在反应溶液内上升或下降以调整所述籽晶在反应溶液内的位置,与现有技术相比,本发明通过增加了悬浮装置,悬浮装置能够在反应溶液中实现上浮或下沉动作,籽晶装设在悬浮装置上,实际应用中,通过调节悬浮装置在反应溶液中的位置,籽晶可以随悬浮装置连动而上浮或下沉到反应溶液内任意位置,由此可根据生长过程调整籽晶在反应溶液中的位置,有利于籽晶生长的各方面可控,保证籽晶一直处在最佳的反应溶液环境,进而大大加速晶体材料的生长效率和获得质量较佳的晶体材料。 | ||
搜索关键词: | 反应溶液 悬浮装置 籽晶 反应釜 可控 坩埚 悬浮晶体 上浮 生长 下沉 反应釜体 加速晶体 晶体材料 生长过程 籽晶生长 连动 装载 体内 应用 保证 | ||
【主权项】:
1.一种可控悬浮晶体生长反应釜,包括反应釜体、籽晶和设置在该反应釜体内的坩埚,所述坩埚内装载有反应溶液,所述籽晶设于反应溶液内,其特征在于:还包括位于坩埚内的悬浮装置,所述籽晶与所述悬浮装置连接,所述悬浮装置可在反应溶液内上升或下降以调整所述籽晶在反应溶液内的位置。
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