[发明专利]靶材组件的制作方法在审
| 申请号： | 201811610802.9 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111378936A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;丁向前 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 237400 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种靶材组件的制作方法，包括：提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材与背板，所述靶材与所述背板连接；将所述靶材放入套具内；对所述背板进行喷砂处理。本发明有效地实现对靶材的遮蔽，同时遮蔽使用的套具能够重复使用，节约资源，节省成本。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 制作方法 | ||
【主权项】：
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