[发明专利]一种研磨定盘、研磨装置及研磨方法在审
| 申请号： | 201811611799.2 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109465740A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 姜镕 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34;B24B55/02;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 黄灿;李东玲 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨定盘、研磨装置及研磨方法，其中，研磨定盘包括定盘本体，所述定盘本体的中部设有用于安装转轴的中心孔，所述定盘本体的内部设有冷却管路，所述定盘本体的表面设置进液口和出液口，所述进液口与所述冷却管路的一端连通，所述出液口与所述冷却管路的另一端连通。根据本发明实施例的研磨定盘结构简单，能够使研磨液保持在正常的温度范围内，提高了工件研磨的质量，同时降低了生产和管理成本。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨定盘 定盘 冷却管路 研磨装置 研磨 出液口 进液口 连通 表面设置 工件研磨 管理成本 研磨液 中心孔 转轴 生产 | ||
【主权项】：
1.一种研磨定盘，其特征在于，包括：定盘本体，所述定盘本体的中部设有用于安装转轴的中心孔，所述定盘本体的内部设有冷却管路，所述定盘本体的表面设置进液口和出液口，所述进液口与所述冷却管路的一端连通，所述出液口与所述冷却管路的另一端连通。
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