[发明专利]一种蒸镀用金属掩模板的制作方法在审
| 申请号： | 201811613058.8 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109609903A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;黄朝;张后成;潘世珍 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C25D1/10;C25D3/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀用金属掩模板的制作方法，所述蒸镀用金属掩模板包括金属掩模层和焊接层，其制作方法包括以下步骤：S1、基材准备；S2、电铸金属掩模层；S3、金属掩模层表面覆膜；S4、电铸焊接层。其特征在于，第一次电铸制得的所述金属掩模层的厚度范围为10～15μm。通过该工艺制作的金属掩模板能够保证图形区域更小的阴影效应和焊接区域足够的强度。 | ||
| 搜索关键词： | 金属掩模板 金属掩模层 蒸镀 焊接层 电铸 制作 表面覆膜 电铸金属 工艺制作 焊接区域 图形区域 阴影效应 掩模层 基材 保证 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀用金属掩模板的制作方法，所述蒸镀用金属掩模板包括金属掩模层和焊接层，其制作方法包括以下步骤：S1、基材准备：选取不锈钢基材作为基板，将基板表面进行抛光、除油、清洗、干燥处理；S2、电铸金属掩模层：在基板上第一次电铸制作具有一定厚度的金属掩模层，制得的所述金属掩模层上包括开口图形区域和非图形区域；S3、金属掩模层表面覆膜：在所述金属掩模层表面覆上一层干膜，对干膜进行曝光处理，形成掩膜层曝光区域和掩膜层显影区域，掩膜层曝光区域对应所述金属掩模层上的开口图形区域，然后通过显影将掩膜层显影区域内的干膜去除，保留掩膜层曝光区域的干膜；S4、电铸焊接层：在经过S3步骤后的所述金属掩模层具有干膜的一面进行第二次电铸，形成焊接层，所述焊接层对应S3步骤中的掩膜层显影区域；其特征在于，第一次电铸制得的所述金属掩模层的厚度范围为10～15μm。
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