[发明专利]多轴纸基加速度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201811613358.6 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109470886A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 翟荣安;马海波;刘新宇;汝长海;孙钰 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;G01P15/18 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 殷海霞 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市相*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备工艺简单、可靠性高、绿色环保以及低成本的多轴纸基加速度传感器，包括单轴纸基加速度传感器和纸基制成的安装载体；所述单轴纸基加速度传感器配置有至少两个，各所述单轴纸基加速度传感器各自独立运行；所述安装载体上配置有两轴安装部或三轴安装部，两个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述两轴安装部上；或三个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述三轴安装部上。本发明的多轴纸基加速度传感器，利用纸基易折叠变形的特点，能够降低制备工艺的难度，以及纸基的环保特性，相较于传统的硅基加速度传感器不影响其灵敏度的前提下降低了成本，同时不会对环境造成污染，绿色环保。 | ||
| 搜索关键词： | 纸基 加速度传感器 单轴 多轴 安装载体 绿色环保 制备工艺 两轴 三轴 独立运行 环保特性 折叠变形 传统的 低成本 灵敏度 硅基 配置 制备 污染 | ||
【主权项】：
1.一种多轴纸基加速度传感器，其特征在于：包括单轴纸基加速度传感器和纸基制成的安装载体；所述单轴纸基加速度传感器配置有至少两个，各所述单轴纸基加速度传感器各自独立运行；所述安装载体上配置有两轴安装部或三轴安装部，两个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述两轴安装部上；或三个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述三轴安装部上。
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