[发明专利]基座以及蒸镀设备在审
| 申请号： | 201811613875.3 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109402575A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 徐义;岳志远 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京尚伦律师事务所 11477 | 代理人： | 谢丽莎 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种基座以及蒸镀设备。该基座包括：基座本体，用于承载待蒸镀基板，所述待蒸镀基板的表面覆有背电极层；汇流部，沿垂直于基板传动方向分布在所述基座本体的两侧，并与所述基座本体绝缘连接，在执行蒸镀工艺时所述背电极层与所述汇流部相接触；导电部，与所述汇流部电连接并连接至外部电源，用于在通电时向所述汇流部提供电压。该技术方案可使待蒸镀基板的上下表面达到几乎相同的温度，从而避免基板镀膜面温度不足的问题以及由基板上下表面的温差而造成的变形问题，而且还能促进薄膜生成速度并改善成膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 汇流部 基座本体 蒸镀基板 背电极层 上下表面 蒸镀设备 变形问题 基板传动 基板镀膜 绝缘连接 外部电源 导电部 电连接 成膜 基板 蒸镀 薄膜 温差 通电 垂直 承载 | ||
【主权项】：
1.一种基座，应用于蒸镀设备，其特征在于，包括：基座本体，用于承载待蒸镀基板，所述待蒸镀基板的表面覆有背电极层；汇流部，沿垂直于基板传动方向分布在所述基座本体的两侧，并与所述基座本体绝缘连接，在执行蒸镀工艺时所述背电极层与所述汇流部相接触；导电部，与所述汇流部电连接并连接至外部电源，用于在通电时向所述汇流部提供电压。
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