[发明专利]抛光液供给系统、方法及抛光系统有效
| 申请号： | 201811614382.1 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109571227B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 李昀泽;具成旻;崔世勋;白宗权 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B57/02;B24B49/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;张博 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种抛光液供给系统、方法及抛光系统，该抛光液供给系统包括：中央供给子系统和设备端供给子系统，其中，中央供给子系统与设备端供给子系统通过第一管道连通；当中央供给子系统接收到设备端供给子系统发送的供给请求时，中央供给子系统向设备端供给子系统供给抛光原液；设备端供给子系统混合抛光原液和添加剂得到抛光液，并向抛光设备供给抛光液。本发明实施例中，通过划分子系统的方式分别执行原液供给与原液混合，既缓解了原液供给的压力，又利于对原液混合的集中控制，提高抛光工艺的整体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 供给 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抛光液供给系统，其特征在于，包括：中央供给子系统和设备端供给子系统，其中，所述中央供给子系统与所述设备端供给子系统通过第一管道连通；当所述中央供给子系统接收到所述设备端供给子系统发送的供给请求时，所述中央供给子系统向所述设备端供给子系统供给抛光原液；所述设备端供给子系统混合所述抛光原液和添加剂得到抛光液，并向抛光设备供给所述抛光液。
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