[发明专利]一种电子束蒸发镀钛的方法在审
| 申请号： | 201811614783.7 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109536885A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 刘齐成 | 申请（专利权）人： | 广州海鸥住宅工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/16;C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 511400 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子束蒸发镀钛的方法，包括，S1、清洗工件，将工件放在真空条件下；S2、利用电子束对钛靶材进行预融；S3、通过电子束扫描所述工件，对工件进行二次清洁并预热；S4、电子束轰击S2步骤中预融完成的钛靶材，对所述工件进行电子束蒸发镀钛，在S3步骤中，通过对工件进行高能量密度的电子束扫描，使工件表面温度升高，表面杂质蒸发去除，在达到清洁目的的同时，对工件进行预热，可增加膜层牢固性，该电子束扫描过程仅需1分钟，即可达到增加膜与工件结合力的效果，操作简便，用时短。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束扫描 电子束蒸发 镀钛 钛靶材 预热 电子束 电子束轰击 表面杂质 工件表面 清洗工件 真空条件 清洁 高能量 结合力 牢固性 膜层 去除 用时 蒸发 | ||
【主权项】：
1.一种电子束蒸发镀钛的方法，其特征在于，包括，S1、清洗工件，将工件放在真空条件下；S2、利用电子束对钛靶材进行预融；S3、通过电子束扫描所述工件，对工件进行二次清洁并预热；S4、电子束轰击S2步骤中预融完成的钛靶材，对所述工件进行电子束蒸发镀钛。
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