[发明专利]吹气除尘工装及MEMS芯片除尘方法有效
| 申请号： | 201811616724.3 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109719084B | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 具子星 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B15/04 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 261000 山东省潍坊市潍坊高新区新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种吹气除尘工装及MEMS芯片除尘方法，其中，包括依次布置的收集装置、吹气装置和清洁装置，所述吹气装置的吹气方向与所述收集装置、吹气装置和清洁装置依次布置的方向呈倾斜角度，并且所述吹气装置的吹气方向相对于所述清洁装置朝向所述收集装置所在一侧，该吹气除尘工装及MEMS芯片除尘方法能够解决现有技术中的MEMS芯片表面灰尘多而造成MEMS芯片表面异物不良率的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 吹气 除尘 工装 mems 芯片 方法 | ||
【主权项】：
1.一种吹气除尘工装，其特征在于，包括依次布置的收集装置、吹气装置和清洁装置，所述吹气装置的吹气方向与所述收集装置、吹气装置和清洁装置依次布置的方向呈倾斜角度，并且所述吹气装置的吹气方向相对于所述清洁装置朝向所述收集装置所在一侧。
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